Mikroaaltoteho
-
Mikroaaltoteho
Mikroaaltokytkentävirtalähde on uudentyyppinen mikroaaltovirtalähde, joka perustuu IGBT-korkeataajuusinvertteritekniikkaan.Se integroi anodisuurjännitevirtalähteen, filamenttivirtalähteen ja magneettikentän virtalähteen (paitsi 3 kW:n mikroaaltovirtalähde).Aaltomagnetroni tarjoaa työskentelyolosuhteet.Tätä tuotetta käytetään MPCVD:ssä, mikroaaltouunissa plasmaetsauksessa, mikroaaltoplasmapuhdistuksessa ja muilla aloilla.