MSB-sarjan keskitaajuinen sputterointivirtalähde
-
MSB-sarjan keskitaajuinen sputterointivirtalähde
RHH-sarjan RF-virtalähde perustuu kypsään RF-tuotantoteknologiaan tarjotakseen asiakkaille RF-virtalähteen, jolla on suurempi teho, suurempi tarkkuus ja nopea vaste.Vaiheella voidaan asettaa, pulssiohjattu, digitaalinen viritys ja muita toimintoja.Sovellettavat alat: aurinkosähköteollisuus, litteiden näyttöjen teollisuus, puolijohdeteollisuus, kemianteollisuus, laboratorio, tieteellinen tutkimus, valmistus jne.
Sovellettavat prosessit: plasman tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD), plasmaetsaus, plasmapuhdistus, radiotaajuinen ionilähde, plasmadiffuusio, plasmapolymerointi sputterointi, reaktiivinen sputterointi jne.