MSB-sarjan keskitaajuinen sputterointivirtalähde

Lyhyt kuvaus:

RHH-sarjan RF-virtalähde perustuu kypsään RF-tuotantoteknologiaan tarjotakseen asiakkaille RF-virtalähteen, jolla on suurempi teho, suurempi tarkkuus ja nopea vaste.Vaiheella voidaan asettaa, pulssiohjattu, digitaalinen viritys ja muita toimintoja.Sovellettavat alat: aurinkosähköteollisuus, litteiden näyttöjen teollisuus, puolijohdeteollisuus, kemianteollisuus, laboratorio, tieteellinen tutkimus, valmistus jne.

Sovellettavat prosessit: plasman tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD), plasmaetsaus, plasmapuhdistus, radiotaajuinen ionilähde, plasmadiffuusio, plasmapolymerointi sputterointi, reaktiivinen sputterointi jne.

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Lähetä meille sähköpostia

ominaisuudet

● Puolitiili- ja telineasennustyylit

● Ota käyttöön täysi digitaalinen ohjaus kätevällä ja monipuolisella käyttövalikolla

● Taajuuden viritys, pulssi ja pulssin synkronointitoiminnot

● CEX-vaihesynkronointitoiminnolla

● Täydellinen suojatoiminto

Tuotetiedot

Syöte	Tulojännite: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Erikoistiedot voidaan mukauttaa)
Syöte	Tulotaajuus: 47 ~ 63 Hz
Lähtö	Lähtötaajuus: 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz
	Viritysalue: ±5 %
	Lähtöteho: 1,5-5 kW
	Lähtötehon säätöalue: 1-100 %
	Lähtöimpedanssi: 50Ω+j0
	Lähtöliitäntä: tyyppi N
	Lähtötila: jatkuva, pulssi
	Pulssitaajuus: 100Hz ~ 100kHz
	Käyttösuhde: 5-95 %
Suorituskykyindeksi	Tehokerroin: 0,98
	Taajuusvakauden tarkkuus: ±0,005 %
	Tehokkuus: 75 % (nimellisteholla)
	Harmoninen: ＜-45dBc
	Hajaantuminen: ＜-50dBc
	Ulkoinen ohjausliitäntä: analoginen määrä, tiedonsiirto ja synkronointi
	Tiedonsiirtotila: Standardi RS485-tiedonsiirtoliitäntä;Valinnainen Ether CAT, teollisuus Ethernet jne.
Huomautus: tuote innovoi jatkuvasti ja suorituskyky paranee jatkuvasti.Tämä parametrin kuvaus on vain viitteellinen.