MSB-sarjan keskitaajuinen sputterointivirtalähde

Lyhyt kuvaus:

MSB-sarja luottaa erinomaiseen aaltomuotomodulaatiotekniikkaansa DC-, DC-pulssin, kaksisuuntaisen neliöaallon, kaksisuuntaisen puolisuunnikkaan aallon ja muiden aaltomuotojen tuottamiseksi.Tuotteessa on säädettävä lähtöaaltomuoto, valittava lähtötaajuus, säädettävä käyttösuhde ja tarkka tehonsäätö.Sekä pieni energian varastointi ja nopea kaarivaste.Tarjoa pinnoitusprosessin kätevä ja tarkka ohjaus.Tuotteita käytetään pääasiassa erilaisissa ohutkalvon valmistusprosesseissa, aurinkokennoteollisuudessa ja tyhjiöpinnoitusteollisuudessa;sovellusprosessit: magnetronisputterointiprosessi, kaksoiskohdesputterointi ja putkimainen PECVD.

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Lähetä meille sähköpostia

ominaisuudet

Telineen asennus
Nopea kaarivaste, vasteaika <100 ns
Pieni energiavarasto, <0,5mJ/KW
Monivaiheinen lomitettu PFC-tekniikka, tehokerroin on jopa 0,95
Voidaan valita erilaisia lähtötiloja, jatkuvat ja jaksoittaiset tilat
Invertteripiiri käyttää täysin pehmeää kytkentätekniikkaa ja käyttää kolmannen sukupolven puolijohde-SiC:tä teholaitteena erinomaisella hyötysuhteella
Tarkka valokaaren tunnistus, saatavilla useita valvontamenetelmiä