RF-virtalähde
-
RLS-sarjan RF-virtalähde
RLS-sarjan RF-virtalähde ottaa käyttöön nykyisen vakaan ja luotettavan tehovahvistimen ja yrityksen ytimen DC-ohjausjärjestelmän, joten tuotteella on erittäin vakaa suorituskyky ja korkea tuotteen luotettavuus.Ota käyttöön kiinalainen ja englanninkielinen näyttöliittymä, helppokäyttöinen.Käytetään pääasiassa aurinkosähköteollisuudessa, litteiden näyttöjen teollisuudessa, puolijohdeteollisuudessa, kemianteollisuudessa, laboratorioissa, tieteellisessä tutkimuksessa, valmistuksessa jne.
-
RMA-sarjan ottelut
Se voidaan mukauttaa RLS-sarjan RF-virtalähteeseen, ja sitä käytetään laajalti plasmaetsauksessa, pinnoituksessa, plasmapuhdistuksessa, plasman puhdistuksessa ja muissa prosesseissa.Yksin käytettynä sitä voidaan käyttää yhdessä muiden valmistajien RF-virtalähteiden kanssa.
-
RHH-sarjan RF-virtalähde
RHH-sarjan RF-virtalähde perustuu kypsään RF-tuotantoteknologiaan tarjotakseen asiakkaille RF-virtalähteen, jolla on suurempi teho, suurempi tarkkuus ja nopea vaste.Vaiheella voidaan asettaa, pulssiohjattu, digitaalinen viritys ja muita toimintoja.Sovellettavat alat: aurinkosähköteollisuus, litteiden näyttöjen teollisuus, puolijohdeteollisuus, kemianteollisuus, laboratorio, tieteellinen tutkimus, valmistus jne.
Sovellettavat prosessit: plasman tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD), plasmaetsaus, plasmapuhdistus, radiotaajuinen ionilähde, plasmadiffuusio, plasmapolymerointi sputterointi, reaktiivinen sputterointi jne.