Sputterointivirtalähde
-
MSB-sarjan keskitaajuinen sputterointivirtalähde
RHH-sarjan RF-virtalähde perustuu kehittyneeseen RF-generaattoriteknologiaan tarjotakseen asiakkaille suuremman tehon, tarkkuuden ja nopeamman vasteen omaavan RF-virtalähteen. Vaiheasetus, pulssiohjaus, digitaalinen viritys ja muita toimintoja. Sovellusalueet: aurinkosähköteollisuus, litteänäyttöteollisuus, puolijohdeteollisuus, kemianteollisuus, laboratoriot, tieteellinen tutkimus, valmistus jne.
Sovellettavat prosessit: plasmalla tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD), plasmaetsaus, plasman puhdistus, radiotaajuusionilähde, plasmadiffuusio, plasmapolymerointisputterointi, reaktiivinen sputterointi jne.
-
MSD-sarjan sputterointivirtalähde
MSD-sarjan tasavirtasputterointivirtalähteessä käytetään yrityksen ydintä tasavirtaohjausjärjestelmää yhdistettynä erinomaiseen valokaaren prosessointijärjestelmään, minkä ansiosta tuotteella on erittäin vakaa suorituskyky, korkea luotettavuus, pienet valokaarivauriot ja hyvä prosessin toistettavuus. Näyttö on sekä kiinan- että englanninkielinen ja helppokäyttöinen.