Sputterointivirtalähde
-
MSB-sarjan keskitaajuinen sputterointivirtalähde
RHH-sarjan RF-virtalähde perustuu kypsään RF-tuotantoteknologiaan tarjotakseen asiakkaille RF-virtalähteen, jolla on suurempi teho, suurempi tarkkuus ja nopea vaste.Vaiheella voidaan asettaa, pulssiohjattu, digitaalinen viritys ja muita toimintoja.Sovellettavat alat: aurinkosähköteollisuus, litteiden näyttöjen teollisuus, puolijohdeteollisuus, kemianteollisuus, laboratorio, tieteellinen tutkimus, valmistus jne.
Sovellettavat prosessit: plasman tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD), plasmaetsaus, plasmapuhdistus, radiotaajuinen ionilähde, plasmadiffuusio, plasmapolymerointi sputterointi, reaktiivinen sputterointi jne.
-
MSD-sarjan sputterointivirtalähde
MSD-sarjan DC-sputterointivirtalähde ottaa käyttöön yrityksen ytimen DC-ohjausjärjestelmän yhdistettynä erinomaiseen kaarikäsittelyjärjestelmään, jotta tuotteella on erittäin vakaa suorituskyky, korkea tuotteen luotettavuus, pieni kaarivaurio ja hyvä prosessin toistettavuus.Ota käyttöön kiinalainen ja englanninkielinen näyttöliittymä, helppokäyttöinen.