TPM5-sarjan tehonohjain
-
TPM5-sarjan tehonohjain
TPM5-sarjan tehonohjain noudattaa moduulin suunnitteluideaa ja integroi siihen jopa 6 piiriä.Tuotteita käytetään pääasiassa diffuusiouuneissa, PECVD-uuneissa, epitaksiuuneissa jne.