MSB-sarjan keskitaajuinen sputterointivirtalähde
-
MSB-sarjan keskitaajuinen sputterointivirtalähde
RHH-sarjan RF-virtalähde perustuu kehittyneeseen RF-generaattoriteknologiaan tarjotakseen asiakkaille suuremman tehon, tarkkuuden ja nopeamman vasteen omaavan RF-virtalähteen. Vaiheasetus, pulssiohjaus, digitaalinen viritys ja muita toimintoja. Sovellusalueet: aurinkosähköteollisuus, litteänäyttöteollisuus, puolijohdeteollisuus, kemianteollisuus, laboratoriot, tieteellinen tutkimus, valmistus jne.
Sovellettavat prosessit: plasmalla tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD), plasmaetsaus, plasman puhdistus, radiotaajuusionilähde, plasmadiffuusio, plasmapolymerointisputterointi, reaktiivinen sputterointi jne.