RMA-sarjan yhteensovittimet
-
RMA-sarjan yhteensovittimet
Se voidaan sovittaa RLS-sarjan RF-virtalähteeseen, ja sitä käytetään laajalti plasmaetsauksessa, pinnoituksessa, plasmapuhdistuksessa, plasman limanpoistossa ja muissa prosesseissa. Yksinään käytettynä sitä voidaan käyttää yhdessä muiden valmistajien RF-virtalähteiden kanssa.